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4H-SiC肖特基二极管的设计、研究与制备
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘胜北 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2015-12-04 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 孙国胜 |
| 关键词 | 4H-SiC 肖特基二极管 JBS 沟槽型肖特基 欧姆接触 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2015-12-08 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26628]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘胜北. 4H-SiC肖特基二极管的设计、研究与制备[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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