真空解理系统及解理半导体芯片的方法
文献类型：专利
| 作者 | 吴燕华; 刘德利; 冯美鑫 ; 曾中明; 张宝顺; 杨辉
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| 发表日期 | 2015-08-05 |
| 专利号 | CN103219644B |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 申请日期 | 2013-03-25 |
| 专利申请号 | 2147483647 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3200]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_大科学装置 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴燕华,刘德利,冯美鑫,等. 真空解理系统及解理半导体芯片的方法. CN103219644B. 2015-08-05. |
入库方式： OAI收割
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