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基于沟道阵列结构的异质结场效应晶体管

文献类型:专利

作者蔡勇; 刘胜厚; 张宝顺
发表日期2016-11-30
专利号CN103872121B
专利类型发明
权利人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日期2014-03-25
专利申请号201410113967.0
源URL[http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3115]  
专题苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米加工公共平台
推荐引用方式
GB/T 7714
蔡勇,刘胜厚,张宝顺. 基于沟道阵列结构的异质结场效应晶体管. CN103872121B. 2016-11-30.

入库方式: OAI收割

来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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