基于MEMS技术的联合色散器件在微小型光谱仪中的应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 石振东 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2015-06 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 范斌 ; 周崇喜 |
| 关键词 | 可调谐 FP 腔 光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统腔 光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统腔 光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统 |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用在对光的 成分进行研究或者物质发出析过程中，主要使用分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、分析工具是光谱 仪器，它的基本作用获得信息其中包括波长、强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 强度、光谱轮廓等。在生物技术环境监测食品安全各个领域，通常需要 光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。光谱仪具有实时地探测的能力，因此需要对进行微小型化 。后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 后光谱仪在器件的加工制作、分辨力和能量利用率等方面都临更大 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 的挑战。本文对光谱仪在微型化过程面临困难进行了分析并提出相应解决 方法。具体的内容及创新如下： 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 首先，为了在宽自由光谱范围内获得高分辨力我们 提出了 频率滤波 频率滤波 和一维空间色 散的 联合调制 方法，并将其应用到 方法，并将其应用到 可调谐 FP 腔与光栅集成色散的 分光方案 中，实现了 可调谐 FabryFabryFabry Fabry-PerotPerotPerot （FP ）腔和光栅优势互补 。首先 对可调 谐 FP 腔和光栅集成色散器件的学特性进行理论分析，包括自 腔和光栅集成色散器件的学特性进行理论分析，包括自 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 由光谱范围、分辨率与传统色散元件的区别和联系及影响集成器 件分辨率的因素等。同时设计并制造了基于压电驱动可调谐 件分辨率的因素等。同时设计并制造了基于压电驱动可调谐 FP 腔和光栅集成 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 色散器件的微小型光谱系统，并对联合调制原理进行了实验证。 与光 栅相比， 集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪集成色散器件可以获得更好的光谱分辨率，实验结 果与商业仪果一致。 果一致。 以此同时， 以此同时， 以此同时， 在压电陶瓷 在压电陶瓷 在压电陶瓷 的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱的 驱动下对波长进行扫描，实现了宽光谱探测。 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 其次，光谱仪在微型化后分辨率有一定的下降。通过减少狭缝宽度 可以提 高微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低微小型色散光谱仪分辨率。但是限制了 进入的能量，降低信噪比。 集成色散器件中 FP 腔的引入 也带来了透射峰值 能量 的降低。因此提出 的降低。因此提出 了将基于棱镜阵列 了将基于棱镜阵列 了将基于棱镜阵列 的光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 光束整形系统与微小型色散谱仪相结合的方法， 用于 提 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 高入射光的能量利用率。基于棱镜阵列束整形系统通过对进行分割和 亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积亚光束的 旋转，实现了水平和垂直方向上参量积改变， 使入射的圆形光斑 使入射的圆形光斑 使入射的圆形光斑 被整形成椭圆光斑 被整形成椭圆光斑 被整形成椭圆光斑 ；通过调整 ；通过调整 柱面镜焦长 柱面镜焦长 ，保持了入射 光束和出保持了入射 光束和出保持了入射 光束和出保持了入射 光束和出保持了入射 光束和出光束的空间 光束的空间 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 角不变。光束整形系统作为小型和模块化的单元，独立于谱仪器可以与现 有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用有各种色散型光 谱仪相兼容来提高入射的通量和信噪比。于直接使用纤，加入光束整形系统后栅谱仪射能量利 用率 提高了一倍 。 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 最后，为了减小光谱仪核心色散器件的尺寸同时保证宽自由范围 和高光谱分辨 率，设计并制作完成了 基于 MEMS 技术 静电 驱动可调谐 驱动可调谐 FP 腔和 光栅集成色散器件，并对其进行了电压驱动测试。在 光栅集成色散器件，并对其进行了电压驱动测试。在 光栅集成色散器件，并对其进行了电压驱动测试。在 光栅集成色散器件，并对其进行了电压驱动测试。在 MEMS 器件设计上，提出 器件设计上，提出 了一种基于 W型环形微桥结构的静电驱动可调谐 FP 腔和光栅集成的设计方案。 腔和光栅集成的设计方案。W型环形微桥 既利用硅片自身的厚度增加了初始腔长又实现驱动电极和反射 利用硅片自身的厚度增加了初始腔长又实现驱动电极和反射 镜的分离，降低了驱动电压 镜的分离，降低了驱动电压 镜的分离，降低了驱动电压 镜的分离，降低了驱动电压 镜的分离，降低了驱动电压 ，并 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 针对此结构设计了双面腐蚀工艺 。利用激光干 利用激光干 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 涉光刻完成对下极板上小周期栅的制作。通过 集成色散器件 集成色散器件 集成色散器件 的零级光谱分析 的零级光谱分析 的零级光谱分析 FP 腔的光学特性 。通 过集成色散器件的正一级光谱 分析 可调谐 FP 腔的滤波功 能和光栅的空间色散力 能和光栅的空间色散力 能和光栅的空间色散力 能和光栅的空间色散力 能和光栅的空间色散力 。相比于光栅， 。相比于光栅， 。相比于光栅， 两者的共同作用使集成器件光谱分 两者的共同作用使集成器件光谱分 两者的共同作用使集成器件光谱分 两者的共同作用使集成器件光谱分 两者的共同作用使集成器件光谱分 两者的共同作用使集成器件光谱分 辨率提高了一倍 辨率提高了一倍 辨率提高了一倍 。在静电力的驱动下 在静电力的驱动下 在静电力的驱动下 对波长进行扫描 对波长进行扫描 对波长进行扫描 ，可实现宽波段的光谱探 ，可实现宽波段的光谱探 ，可实现宽波段的光谱探 ，可实现宽波段的光谱探 测，自由光谱范围从 2.34nm 扩展到 940nm 。 本论文系统研究了基于可调谐 FP 腔和光栅联合色散调制的方法，将它运用 腔和光栅联合色散调制的方法，将它运用 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 到微小型光谱仪的色散器件中。为进一步减少核心尺寸，设计并制 作完成了 基于 MEMS 技术 静电 驱动可调谐 FP 腔和光栅集成色散器件。从理论 腔和光栅集成色散器件。从理论 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 和实验上证了集成色散器件可以在宽光谱范围内现高分辨率 的光谱 的光谱 探测。 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 另一个方面，基于棱镜阵列的光束整形系统运用到微小型色散谱仪上有效 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性 提高光谱仪对入射的能量利用率。本文研究成果于微小型化性能的提高有重要参考价值。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3023]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 中国科学院光电所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石振东. 基于MEMS技术的联合色散器件在微小型光谱仪中的应用研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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