偏振性能测试方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 侯梦晗 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2015-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 林妩媚 |
| 关键词 | 浸没式光刻 Stokes 参量 偏振测量 旋转1/4 波片 误差校准 |
| 学位专业 | 光学测试 |
| 中文摘要 | 集成电路(IC)已成为现今所有高科技领域的发展基础，集成电路的集成度按 照摩尔定律的规律不断增长，而光刻技术是超大规模集成电路制造过程中的核 心技术。随着世界光刻技术迈入45nm 节点及以下，浸没式光学投影曝光光刻技 术已成为集成电路制造的主流技术。根据瑞利衍射定理，提高光刻技术的分辨 力，需要通过缩小曝光波长、增大数值孔径以及研究各种分辨力增强技术等方 法。其中ArF 浸没式光刻可以实现大于1 的数值孔径(NA)，而其受偏振效应的 影响也随NA 的增大而增大。采用偏振照明和离轴照明能够极大地提高光刻系统 的图像对比度，相应的光刻系统对照明偏振光的性能也有很高的要求，能够对 偏振性能进行高精度测量的系统是照明系统达到偏振要求的保证。 本文针对以上需求，对基于旋转波片法测量Stokes 矢量来计算偏振性能的 测量系统进行了研究和分析，主要针对线偏振光的测量，展开了仿真分析，提 出了一种系统参数误差的校准方法，并进行了原理验证实验。主要内容分为以 下几点： 1. 调研分析了几种偏振测量方法，并选择利用旋转1/4 波片测量Stokes 矢 量的原理，推导系统的光学传递函数，采用最小二乘法对Stokes 矢量进行求解。 2. 针对193nm 波长深紫外光刻机的使用场景，仿真分析了相应的各个环节 产生的误差，包括光源非均匀性、偏振棱镜透光轴角度误差、波片快轴角度调 零误差、波片相位延迟误差、电机转动精度影响和CCD 噪声。 3. 针对三个定量参数误差，偏振棱镜透光轴角度误差、波片快轴角度调零 误差和波片相位延迟误差，提出了一种校准方法，即分别用0°和45°线偏振光照 射系统来对三个误差标定，并进行了仿真分析。仿真结果表明该方法能够有效 地提高测量精度。 4. 在632.8nm 波长下进行实验，验证了测量原理和校准原理，并分析了实 验中误差的影响和改进方法。实验表明，在当前实验条件下，测量结果与实验 误差吻合，证明了测量原理和校准原理的可行性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3041]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯梦晗. 偏振性能测试方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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