电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 乔俊仙 ; 王肇志 ; 余国彬 |
| 刊名 | 电子工业专用设备
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:6页码:11-13 |
| 通讯作者 | 乔俊仙 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1293]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔俊仙,王肇志,余国彬. 电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析[J]. 电子工业专用设备,2005,34(6):11-13. |
| APA | 乔俊仙,王肇志,&余国彬.(2005).电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析.电子工业专用设备,34(6),11-13. |
| MLA | 乔俊仙,et al."电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析".电子工业专用设备 34.6(2005):11-13. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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