中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
电子束曝光机激光工件台测量系统研究

文献类型:期刊论文

作者乔俊仙 ; 王肇志 ; 胡松 ; 余国彬
刊名电子工业专用设备
出版日期2005
卷号34期号:10页码:19-23
通讯作者乔俊仙
收录类别其他
语种中文
公开日期2015-12-24
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1294]  
专题光电技术研究所_微电子装备总体研究室(四室)
推荐引用方式
GB/T 7714
乔俊仙,王肇志,胡松,等. 电子束曝光机激光工件台测量系统研究[J]. 电子工业专用设备,2005,34(10):19-23.
APA 乔俊仙,王肇志,胡松,&余国彬.(2005).电子束曝光机激光工件台测量系统研究.电子工业专用设备,34(10),19-23.
MLA 乔俊仙,et al."电子束曝光机激光工件台测量系统研究".电子工业专用设备 34.10(2005):19-23.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。