电子束曝光机传输片机械手研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 乔俊仙 |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 25期号:1页码:13~15 |
| 通讯作者 | 乔俊仙 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1455]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔俊仙. 电子束曝光机传输片机械手研制[J]. 微细加工技术,2006,25(1):13~15. |
| APA | 乔俊仙.(2006).电子束曝光机传输片机械手研制.微细加工技术,25(1),13~15. |
| MLA | 乔俊仙."电子束曝光机传输片机械手研制".微细加工技术 25.1(2006):13~15. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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