基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邓玖根 ; 张正荣 ; 胡松 ; 唐小萍 ; 马平 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 12页码:1082-1086 |
| 通讯作者 | 邓玖根 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1647]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓玖根,张正荣,胡松,等. 基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计[J]. 微纳电子技术,2007(12):1082-1086. |
| APA | 邓玖根,张正荣,胡松,唐小萍,&马平.(2007).基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计.微纳电子技术(12),1082-1086. |
| MLA | 邓玖根,et al."基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计".微纳电子技术 .12(2007):1082-1086. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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