采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯伯儒 ; 张锦 ; 刘娟 |
| 刊名 | 应用激光
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 25期号:5页码:325-326 |
| 通讯作者 | 冯伯儒 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1344]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯伯儒,张锦,刘娟. 采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术[J]. 应用激光,2005,25(5):325-326. |
| APA | 冯伯儒,张锦,&刘娟.(2005).采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术.应用激光,25(5),325-326. |
| MLA | 冯伯儒,et al."采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术".应用激光 25.5(2005):325-326. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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