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用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法

文献类型:期刊论文

作者张锦 ; 冯伯儒 ; 郭永康 ; 刘娟
刊名应用激光
出版日期2005
卷号25期号:5页码:327-328
通讯作者张锦
收录类别其他
语种中文
公开日期2015-12-24
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1351]  
专题光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
推荐引用方式
GB/T 7714
张锦,冯伯儒,郭永康,等. 用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法[J]. 应用激光,2005,25(5):327-328.
APA 张锦,冯伯儒,郭永康,&刘娟.(2005).用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法.应用激光,25(5),327-328.
MLA 张锦,et al."用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法".应用激光 25.5(2005):327-328.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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