用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邓启凌 ; 杜春雷 ; 王长涛 ; 邱传凯 ; 潘丽 ; 董小春 |
| 刊名 | 光子学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:Z1页码:125-128 |
| 通讯作者 | 邓启凌 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1357]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓启凌,杜春雷,王长涛,等. 用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件[J]. 光子学报,2005,34(Z1):125-128. |
| APA | 邓启凌,杜春雷,王长涛,邱传凯,潘丽,&董小春.(2005).用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件.光子学报,34(Z1),125-128. |
| MLA | 邓启凌,et al."用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件".光子学报 34.Z1(2005):125-128. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。