Suppression of pinhole defects in fullerene molecular electron beam resists
文献类型：期刊论文
| 作者 | Chen, X ; Robinson, APG ; Manickam, M ; Preece, JA |
| 刊名 | MICROELECTRONIC ENGINEERING
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 84页码:1066-1070 |
| 通讯作者 | Chen, X |
| 收录类别 | EI ; SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1733]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen, X,Robinson, APG,Manickam, M,et al. Suppression of pinhole defects in fullerene molecular electron beam resists[J]. MICROELECTRONIC ENGINEERING,2007,84:1066-1070. |
| APA | Chen, X,Robinson, APG,Manickam, M,&Preece, JA.(2007).Suppression of pinhole defects in fullerene molecular electron beam resists.MICROELECTRONIC ENGINEERING,84,1066-1070. |
| MLA | Chen, X,et al."Suppression of pinhole defects in fullerene molecular electron beam resists".MICROELECTRONIC ENGINEERING 84(2007):1066-1070. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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