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SU-8光刻胶制作三维光子晶体

文献类型:期刊论文

作者张晓玉 ; 高洪涛 ; 周崇喜 ; 刘强 ; 邢廷文 ; 姚汉民
刊名光电工程
出版日期2007
卷号34期号:8页码:28-31
通讯作者张晓玉
收录类别Ei
语种中文
公开日期2015-12-24
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1741]  
专题光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
推荐引用方式
GB/T 7714
张晓玉,高洪涛,周崇喜,等. SU-8光刻胶制作三维光子晶体[J]. 光电工程,2007,34(8):28-31.
APA 张晓玉,高洪涛,周崇喜,刘强,邢廷文,&姚汉民.(2007).SU-8光刻胶制作三维光子晶体.光电工程,34(8),28-31.
MLA 张晓玉,et al."SU-8光刻胶制作三维光子晶体".光电工程 34.8(2007):28-31.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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