SU-8环氧树脂的分离实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张晓玉 ; 周崇喜 ; 姚汉民 ; 邢廷文 |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 2页码:13-15+33 |
| 通讯作者 | 张晓玉 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1742]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张晓玉,周崇喜,姚汉民,等. SU-8环氧树脂的分离实验研究[J]. 微细加工技术,2007(2):13-15+33. |
| APA | 张晓玉,周崇喜,姚汉民,&邢廷文.(2007).SU-8环氧树脂的分离实验研究.微细加工技术(2),13-15+33. |
| MLA | 张晓玉,et al."SU-8环氧树脂的分离实验研究".微细加工技术 .2(2007):13-15+33. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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