MEMS可变电容的研究现状及进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李玲玉 ; 童富 ; 杨月寒 ; 赵建明 ; 刘海文 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 45期号:5页码:287-292 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 中文摘要 | 介绍了微机电系统(MEMS)技术以及MEMS可变电容器,基于MEMS的可变电容具有高Q值、低损耗、宽调节范围和低噪声等优点,阐述了MEMS可变电容器设计的基本原理,列举了现有的几种典型结构模型。通过指定频率下Q值及调谐范围的具体数值,比较不同结构的MEMS可变电容的特点,展望了MEMS可变电容的发展并得出结论。 |
| 学科主题 | 微细加工技术 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2056]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李玲玉,童富,杨月寒,等. MEMS可变电容的研究现状及进展[J]. 微纳电子技术,2008,45(5):287-292. |
| APA | 李玲玉,童富,杨月寒,赵建明,&刘海文.(2008).MEMS可变电容的研究现状及进展.微纳电子技术,45(5),287-292. |
| MLA | 李玲玉,et al."MEMS可变电容的研究现状及进展".微纳电子技术 45.5(2008):287-292. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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