基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王大甲 ; 胡放荣 ; 姚军 ; 邱传凯 ; 王爱娜 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 21期号:8页码:196-197 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模式下的有限元计算,发现各种梁自由端的偏移量相同,表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后,对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。 |
| 学科主题 | 微细加工技术 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2060]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王大甲,胡放荣,姚军,等. 基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究[J]. 传感技术学报,2008,21(8):196-197. |
| APA | 王大甲,胡放荣,姚军,邱传凯,&王爱娜.(2008).基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究.传感技术学报,21(8),196-197. |
| MLA | 王大甲,et al."基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究".传感技术学报 21.8(2008):196-197. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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