应力盘智能控制盘面面形的表征方法及检测技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范斌 ; 杨力 ; 曾志革 ; 李晓今 ; 邓建明 ; 万勇建 |
| 刊名 | 光学技术
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 31期号:5页码:751-753 |
| 通讯作者 | 范斌 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1266]  |
| 专题 | 光电技术研究所_先光中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范斌,杨力,曾志革,等. 应力盘智能控制盘面面形的表征方法及检测技术的研究[J]. 光学技术,2005,31(5):751-753. |
| APA | 范斌,杨力,曾志革,李晓今,邓建明,&万勇建.(2005).应力盘智能控制盘面面形的表征方法及检测技术的研究.光学技术,31(5),751-753. |
| MLA | 范斌,et al."应力盘智能控制盘面面形的表征方法及检测技术的研究".光学技术 31.5(2005):751-753. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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