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半导体研究所 51 | 西安光学精密机械研究所 21 | 光电技术研究所 5 |
国家授时中心 5 | 重庆绿色智能技术研究院 3 | 长春光学精密机械与物理研究所 2 |
合肥物质科学研究院 2 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1 | 国家天文台 1 |
上海微系统与信息技术研究所 1 | 武汉物理与数学研究所 1 | 上海硅酸盐研究所 1 |