机构

• 上海微系统与信息技... [95]
• 微电子研究所 [23]
• 沈阳自动化研究所 [15]
• 力学研究所 [14]
• 西安光学精密机械研... [12]
• 长春光学精密机械与物... [9]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [204]

内容类型

• 专利 [65]
• 期刊论文 [65]
• 学位论文 [64]
• 成果 [4]
• 会议论文 [3]
• 专著 [2]
• 更多

发表日期

• 2021 [4]
• 2020 [2]
• 2018 [5]
• 2017 [3]
• 2016 [8]
• 2015 [7]
• 更多

学科主题

• 力学 [4]
• 半导体器件 [4]
• 微电子学 [4]
• 固体力学 [3]
• 工质热物性 [2]
• 红外探测材料与器件 [2]
• 更多

筛选

分面浏览：内容类型

当前检索式	((ALL：微悬臂梁))
限定条件	无

专利 65	期刊论文 65	学位论文 64
成果 4	会议论文 3	专著 2
科普文章 1