机构

• 上海微系统与信息... [116]
• 力学研究所 [50]
• 电子学研究所 [36]
• 长春光学精密机械与... [20]
• 沈阳自动化研究所 [17]
• 微电子研究所 [16]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [364]

内容类型

• 期刊论文 [180]
• 学位论文 [89]
• 专利 [63]
• 会议论文 [21]
• 专著 [6]
• 成果 [4]
• 更多

发表日期

• 2019 [4]
• 2018 [10]
• 2017 [8]
• 2016 [8]
• 2015 [7]
• 2014 [9]
• 更多

学科主题

• 流体力学::微机电... [16]
• 固体力学::微机电系... [5]
• 固体力学::微机电系... [5]
• 传感器 [3]
• 力学 [3]
• 微电子学 [3]
• 更多

筛选

分面浏览：内容类型

当前检索式	((ALL：微机电系统))
限定条件	无

期刊论文 180	学位论文 89	专利 63
会议论文 21	专著 6	成果 4
科普文章 1