机构

• 半导体研究所 [293]
• 物理研究所 [186]
• 西安光学精密机械... [155]
• 金属研究所 [115]
• 上海微系统与信息... [103]
• 兰州化学物理研究所 [82]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [1445]
• iSwitch采集 [147]

内容类型

• 期刊论文 [1354]
• 专利 [147]
• 会议论文 [68]
• 学位论文 [16]
• 外文期刊 [5]
• SCI/SSCI论文 [1]
• 更多

发表日期

• 2020 [38]
• 2019 [31]
• 2018 [53]
• 2017 [50]
• 2016 [50]
• 2015 [48]
• 更多

学科主题

• 半导体材料 [115]
• 材料科学与物理化学 [77]
• 半导体物理 [52]
• Physics [34]
• Materials... [26]
• 光电子学 [23]
• 更多

筛选

分面浏览：内容类型

当前检索式	((ALL：Silicon film))
限定条件	无

期刊论文 1354	专利 147	会议论文 68
学位论文 16	外文期刊 5	SCI/SSCI论文 1
其他 1