机构

• 中国科学院大学 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• iSwitch采集 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 存缴方式：iswitch    内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Potential of phase-shifted optical proximity correction for 65 nm t-shaped pattern in high numerical aperture lithography 期刊论文  iSwitch采集 Journal of vacuum science & technology b, 2008, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 84-88 作者:  Gao, Songbo;  Li, Yanqiu 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/05/10 Systematic considerations for the patterning of photonic crystal devices by electron beam lithography 期刊论文  iSwitch采集 Optics communications, 2007, 卷号: 271, 期号: 1, 页码: 241-247 作者:  Yu, Hejun;  Yu, Jinzhong;  Sun, Fei;  Li, Zhiyong;  Chen, Shaowu 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/05/12 Photonic crystal  E-beam lithography  Resist  Stitching error  Proximity effect correction