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Formation of silicon nanocrystals embedded in high-kappa dielectric hfo2 and their application for charge storage 期刊论文  iSwitch采集
Journal of vacuum science & technology b, 2011, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 6
作者:  
Li, Weilong;  Jia, Rui;  Chen, Chen;  Li, Haofeng;  Liu, Xinyu
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2019/05/12
Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography 期刊论文  iSwitch采集
Journal of vacuum science & technology b, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 534-540
作者:  
Li, Yanqiu;  Zhou, Yuan
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2019/05/10