机构

• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 成果 [1]

发表日期

• 2004 [1]

学科主题

• 半导体材料 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    学科主题：半导体材料    专题：西安光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低压、气动旋转衬底座XG2-1型MOCVD装置 成果  OAI收割 2004 主要完成人:  高鸿楷;  何益民;  徐瞬;  郭银其;  赛小锋   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/06/27 Mocvd 气动旋转衬底座