机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

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内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

学科主题

• Chemistry,... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2002    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Interfacial and microstructural properties of zirconium oxide thin films prepared directly on silicon 期刊论文  OAI收割 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 202, 期号: 1-2, 页码: 126-130 Zhang, NL; Song, ZT; Wan, Q; Shen, QW; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  THERMAL-STABILITY  ZRO2  SI(100)