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上海光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2007 [2]
学科主题
光学薄膜 [2]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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限定条件
发表日期:2007
学科主题:光学薄膜
条数/页:
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薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
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提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO2 thin film
残余应力
residual stress
膜厚
thin film thickness
电子束蒸发
electron beam evaporation
沉积温度对LaF3薄膜性能的影响
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 1507, 1511
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1098/222
  |  
提交时间:2009/09/22
Crystal structure
Deposition
Grain size and shape
Interferometers
Lanthanum compounds
Refractive index
Residual stresses
Spectrophotometers
Temperature
X ray diffraction