机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 专利 [1]

发表日期

• 2009 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：专利    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 3996, 2010-10-15 王 亮; 宁 瑾; 孙国胜; 王 雷; 赵万顺; 赵永梅; 刘兴昉  收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2010/03/19