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宁波材料技术与工程研... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [2]
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新型45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧源系统的磁场模拟计算和ta-C薄膜动力学生长研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
李洪波
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提交时间:2010/07/21
双弯曲磁过滤阴极电弧
磁场分布
碳离子传输
ta-C薄膜。
新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 6, 页码: 614-620
李洪波
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孙丽丽
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吴国松
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代伟
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周毅
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汪爱英
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提交时间:2011/05/10
双弯曲磁过滤阴极电弧