机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 专利 [1]

发表日期

• 2017 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 极紫外光刻掩模缺陷检测系统 专利  OAI收割 专利号: US9546964, 申请日期: 2017-01-17, 公开日期: 2013-10-17 作者:  李海亮;  谢常青;  刘明;  李冬梅;  牛洁斌   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/07/19