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  • 期刊论文 [1]
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Proximity correction and resolution enhancement of plasmonic lens lithography far beyond the near field diffraction limit 期刊论文  OAI收割
RSC Advances, 2017, 卷号: 7, 期号: 20, 页码: 12366-12373
作者:  Luo, Yunfei;  Liu, Ling;  Zhang, Wei;  Kong, Weijie;  Zhao, Chengwei
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/11/20