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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

学科主题

• Applied [1]
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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Applied    学科主题：Engineering     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Effect of mechanical process parameters on friction behavior and material removal during sapphire chemical mechanical polishing 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 3020-3023 Zhang,ZF; Yan,WX; Zhang,L; Liu,WL; Song,ZT 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/10 ELSEVIER SCIENCE BV