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• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

• Computer s... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Computer simulation - Leveling (machinery) - Nanolithography    内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 The leveling of mask and wafer in proximity nanolithography using fringe pattern phase analysis 期刊论文  OAI收割 Optik, 2014, 卷号: 125, 期号: 13, 页码: 3176-3180 作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23