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  • 上海光学精密机械研究... [3]
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Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography 会议论文  OAI收割
作者:  
Wang, Xiangzhao;  Tang, Feng;  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Lei
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2017/12/25
Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography 会议论文  OAI收割
作者:  
Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Wang, Lei;  Tang, Feng
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2017/12/25
Source Mask Optimization Using Real-Coded Genetic Algorithms 会议论文  OAI收割
conference on optical microlithography xxvi
作者:  
Yang, Chaoxing;  Wang, Xiangzhao
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2016/11/28