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• 上海光学精密机械研究... [3]

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• 学位论文 [3]

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• 2016 [1]
• 2015 [1]
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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻  分辨率增强技术  光源掩模优化  遗传算法   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  何骏 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射  掩模优化   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  何凯 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射