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Kr和Ne离子注入6H-SiC晶体缺陷的产生及退火行为 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2013
作者:  
孟彦成
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2015/10/28