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机构
过程工程研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2002 [2]
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共2条,第1-2条
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专题:过程工程研究所
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微波等离子体化学气相合成氮化钛、氮化硅纳米粉体研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2002
黄生乔
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提交时间:2013/09/16
微波等离子体
化学气相沉积
氮化钦
氮化硅
纳米粉体
微波等离子体化学合成纳米粉体材料研究与应用
期刊论文
OAI收割
过程工程学报, 2002, 期号: 06, 页码: 564-569
黄生乔
;
马兵
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2013/12/24
微波等离子体
化学气相沉积
纳米材料