机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1991 [1]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1991    学科主题：半导体材料     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 INTERACTION OF CO WITH SI AND SIO2 DURING RAPID THERMAL ANNEALING 期刊论文  OAI收割 journal of applied physics, 1991, 卷号: 69, 期号: 11, 页码: 7612-7619 CHEN WD; CUI YD; HSU CC; TAO J 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/11/15 GROWTH  SILICIDES  KINETICS  CRYSTAL  SILICON  FILMS  COSI2  CO2SI  TI