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  • 半导体研究所 [1]
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  • 2002 [1]
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气源分子束外延生长锗硅异质结双极晶体管材料掺杂方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 申请日期: 2002-10-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
黄大定; 李建平; 高斐; 林燕霞; 孙殿照; 刘金平; 朱世荣; 孔梅影
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