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Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon grating using an alignment method based on a scanning beam interference lithography system 期刊论文  OAI收割
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 22, 页码: 40842-40853
作者:  X. S. Chen;  S. Jiang;  Y. B. Li;  Y. X. Jiang;  W. Wang and Bayanheshig
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