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• 近代物理研究所 [4]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2007 [1]
• 2002 [3]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：近代物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Improvement of electrical properties of Cu/SiCOH low-k film integrated system by O-2 plasma treatment 期刊论文  OAI收割 CHINESE PHYSICS, 2007, 卷号: 16, 页码: 524-528 作者:  Qian Xiao-Mei;  Wei Yong-Xia;  Yu Xiao-Zhu;  Ye Chao;  Ning Zhao-Yuan   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/05/31 porous SiCOH film  O-2 plasma treatment  electrical property   Correlation between the structure modification and conductivity of 3 MeV Si ion-irradiated polyimide 会议论文  OAI收割 作者:  Sun, YM;  Zhu, ZY   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2018/08/20 ion irradiation  polyimide  chemical modification  electrical property   Correlation between the structure modification and conductivity of 3 MeV Si ion-irradiated polyimide 会议论文  OAI收割 作者:  Sun, YM;  Zhu, ZY;  Li, CL   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/08/20 ion irradiation  polyimide  chemical modification  electrical property   Correlation between the structure modification and conductivity of 3 MeV Si ion-irradiated polyimide 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002, 卷号: 191, 期号: 6, 页码: 805-809 作者:  Sun, YM;  Zhu, ZY;  Li, CL   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/10/29 ion irradiation  polyimide  chemical modification  electrical property