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• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 绿色新星——超临界二氧化碳无损清洗设备 期刊论文  OAI收割 科技创新与品牌, 2009, 期号: 11, 页码: 2，32-33 作者:  中国科学院微电子研究所超临界技术课题组   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/06/01 清洗设备  二氧化碳  临界  清洗技术 表面张力  半导体  极性分子  二次污染