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一种降低DBR周期数的DBR低折射率层刻蚀方法 专利  OAI收割
专利号: CN110165551A, 申请日期: 2019-08-23, 公开日期: 2019-08-23
作者:  
尚林;  许并社;  马淑芳;  单恒升;  郝晓东
  |  收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2019/12/30