机构

• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1988 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 锑化铟红外探测器二氧化硅钝化膜中氢含量的分析 期刊论文  OAI收割 激光与红外, 1988, 期号: 4, 页码: 30-33 作者:  刘世杰;  吴越;  谢葆珍;  李春瑛;  耿小敏 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/12/25 红外探测器  锑化铟  钝化膜  氢含量  淀积  射频功率  氦离子  等离子体增强  腐蚀速率  氢原子