机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2001 [1]

学科主题

• 光电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 采用TEOS和H_2O源PECVD方法生长氧化硅厚膜（英文） 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 543 雷红兵; 王红杰; 邓晓清; 杨沁清; 胡雄伟; 王启明; 廖左升; 杨基南 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/11/23