机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 专利 [1]

发表日期

• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置 专利  OAI收割 申请日期: 2013-01-05, 作者:  宗明成;  黄有为;  陈浩;  李世光;  盖洪峰   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/09/14