机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 专利 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 一种微晶硅薄膜的沉积方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28 肖金泉, 赵彦辉, 崔连武, 华伟刚, 宫骏, 孙超 and 黄荣芳 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2013/06/06