机构

• 金属研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 专利 [2]

发表日期

• 2012 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置 专利  OAI收割 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-12-12, 公开日期: 2012-12-12 肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2013/06/06 一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的溅射装置 专利  OAI收割 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-05-30, 公开日期: 2012-05-30 肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/06/06