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机构
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
成果 [1]
发表日期
2004 [1]
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改性介孔二氧化硅/有机大分子复合磨料及其化学机械抛光液的制备
成果
OAI收割
2004
张劲松
;
张军旗
;
杨永进
;
曹小明
;
刘强
;
李明天
;
梁燕
;
杨振明
;
谢素箐
;
江小平
;
张革
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提交时间:2013/07/24
复合磨料
化学机械抛光液