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深圳先进技术研究院 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2017 [3]
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共3条,第1-3条
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面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
期刊论文
OAI收割
集成技术, 2017
作者:
谷继腾
;
杨扬
;
蒋春磊
;
石磊
;
牛卉卉
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2018/02/02
热处理工艺对硬质合金表面金刚石薄膜附着性能的影响
期刊论文
OAI收割
集成技术, 2017
作者:
谷继腾
;
杨扬
;
唐永炳
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/02/02
硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响
期刊论文
OAI收割
集成技术, 2017
作者:
谷继腾
;
杨扬
;
唐永炳
;
张文军
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2018/02/02